我国在激光等离子体EUV光刻机研发... 摘日者 2025-05-07 06:12:20 我国在激光等离子体EUV光刻机研发有重大突破,国产光源转化率达3.42% (5.5%就可以完全商用)简单来说,国产光刻机也能土法上马!这次突破的负责人林楠,激光科学家,21年归国曾在荷兰光刻机巨头ASML担任研发部光源负责人而他的前东家评论中国这次技术突破,可酸了说"意料之中,但中国仍需要多年才能造出光刻机"是吗,当年开始造原子弹前也有人这么说我们的