
2025年01月09日
有人说,哈工大获奖的...
有人说,哈工大获奖的“放电等离子体极紫外光刻光源”处于什么水平?
我看了一下,光源焦点功率43瓦,应该还没到能用的程度。ASML最近两代光刻机光源功率在250瓦-500瓦,并且ASML现
有人说,哈工大获奖的“放电等离子体极紫外光刻光源”处于什么水平?
我看了一下,光源焦点功率43瓦,应该还没到能用的程度。ASML最近两代光刻机光源功率在250瓦-500瓦,并且ASML现
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