光刻机工信部推广国产氟化氩光刻机 工信部首次公布光刻机参数，技术解读 1. 氟化氪、氟化氩光刻机，这是指光源KrF激光，ArF激光。ArF
2024-09-17浏览详情
【工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm】据微信公众号“工信微报”消息，近日，工信部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目
2024-09-15浏览详情
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