助力突破中国#光刻机技术# 瓶颈，#港城大# 团队研发真空紫外非线性超构透镜，可将394纳米紫外光转为197纳米真空紫外光

【助力突破中国光刻机技术 瓶颈，港城大 团队研发真空紫外非线性超构透镜，可将394纳米紫外光转为197纳米真空紫外光】

解决国内光刻

2022-08-10浏览详情