光刻机产业链梳理

【光刻机产业链梳理】
1、双工台：华卓精科；

2、光源系统：福晶科技，科益虹源；

3、曝光系统：国科精密；

4、浸没系统：启尔机电；

5、物镜系统：奥普光电，国望光学；

6、光栅系统：上光所；

7、设计与整机集成：上微电，芯硕半导体，影速半导体

8、光刻胶：南大光电，容大感光财经A股
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