中企购买3台ASML光刻机已经到位...

中企购买3台ASML光刻机已经到位，用于高端光刻胶的研发验证
2020年上海新阳正式对外宣称其已经购买了3台光刻机，型号是阿斯麦ASML-1400，全部是二手机型。这些光刻机的购买目的主要是用于干式干法光刻胶的研发。
当时上海新阳购买的光刻机仅有1台到厂运行，此后，受复杂原因的影响，上海新阳进口光刻机的程序越来越复杂，公司的原定计划没有按时完成，但据12月31日上海新阳披露的最新进展显示，上海新阳购买的全部3台光刻机已经全部陆续到位并开始安装调试，接下来上海新阳将同北方集成电路技术创新中心及华为等公司携手搭建光刻胶验证平台，用于先进光刻胶验证。
在中美贸易摩擦加剧的关键时刻，中企购买的这三台光刻机，实在来的太及时。尽管上海新阳采购的为二手光刻机，算不上先进，但意义非凡。在以美国为首的西方国家层层封锁之下，中国想要购买一台光刻机十分不易，至今荷兰仍没有交付，荷兰ASML公司还是不能够自由向我国出售EUV光刻机，导致我国芯片产业被光刻机卡了脖子。
所以才说上海新阳3台光刻机的到手，对国产芯片的意义重大。实际上上海新阳这次到货的3台光刻机不是为了芯片制造，而是为了先进光刻胶的验证。要知道，光刻胶是芯片制造过程中必不可少的化学材料，同样对芯片精度起到了一定制约作用。
据中国产业信息网显示，我国高端半导体光刻胶产值仅占1.6%，全球72%光刻胶市场都被日本企业所占据，我国高端光刻胶更是被日本企业垄断。日本一直作为半导体制造材料的主要出口大国，我国90-14nm的干式光刻胶完全依赖进口，这对我国芯片安全来说显然不是一件好事，一旦日本像美国一样实施相关禁令(或者被美国胁迫)，我国在半导体制造材料上也会被卡脖子。为此上海新阳等厂商积极奋发向上，希望能填补国产高端光刻胶的空白，打破国外垄断。
此后，上海新阳斥资7.32亿元实现集成电路制造用高端光刻胶研发与产业化，193nm干法光刻胶就是主要的攻克方向，这就是上海新阳耗费大价钱购买二手光刻机的原因。对于上海新阳光刻胶项目来说，这些光刻机已经够用，攻克高端光刻胶有利于国产芯片技术的未来发展。
据悉，这些光刻机会在3月底安装调试完毕，正常投入使用。
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