#工信部推广国产重大技术装备突破#，套刻精度≤8nm的光刻机在列

【工信部推广国产重大技术装备突破，套刻精度≤8nm的光刻机在列】

为促进首台（套）重大技术装备创新发展和推广应用，加强产业、财政、金融、科技等国家支持政策的协同，工信部 于9月9日印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》（以下简称《目录》）通知，在文件列表包含国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩光刻机（65nm）等集成电路关键生产设备。人民军队淬火向前工信部推广国产重大技术装备突破，套刻精度≤8nm的光刻机在列