#工信部推广国产重大技术装备突破#,套刻精度≤8nm的光刻机在列

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【工信部推广国产重大技术装备突破,套刻精度≤8nm的光刻机在列】

为促进首台(套)重大技术装备创新发展和推广应用,加强产业、财政、

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